高精密气浮平台-东莞市星纳特-高精密气浮平台

气浮平台有气浮直线平台与气浮（旋转）转台两类。气浮平台的原理是由空气轴承结合电控元件构成的精密位移平台，基于空气轴承的原理，让负载板浮在气浮导轨或气浮轴承上，实现无摩擦、无振动的平滑运动。

气浮平台的气浮直线导轨常见的形式有：

1.     重力平衡式气浮导轨；

2.     闭式气浮导轨；

3.     永磁预载式气浮导轨；

4.     真空吸附式气浮导轨。

常见的气浮孔结构为：

1.     小孔节流结构；

2.     多孔质结构。

气浮平台的高直线度和平面度依赖于气浮导轨，材质分为铝合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高压气膜的压力分布、气源压力、节流器、均压槽---等，找到了合理气膜刚度时的参数区间有着---的性能精度，行程300mm直线度和平面度的误差在1μm以内，气浮平台的承载能力也非常的---，在市场上已经逐渐得到大家的---。

气浮平台是一种以气体为介质的悬浮系统，高精密气浮平台，利用气体流动产生的气浮力来支撑和悬浮物体，实现无接触的悬浮效果。其原理是在平面介面上注入压缩空气或氮气，通过气体流动和气泡形成产生气浮力支撑悬浮物体，形成一层气体悬浮层，实现物体的悬浮，从而达到---加工、光刻和检测等目的。

气浮平台的工作原理是基于气体动静压效应，高精密气浮平台厂商，利用气浮轴承?和电控元件?构成了精密的位移平台，高精密气浮平台，让承载面浮在气浮导轨或轴承上，实现无摩擦，无抖动的平滑运动。其结构通常包括气浮导轨（含承载面），直线电机?和光栅尺?等主要部件。通过气管将干净，无水无油的压缩空气输入到承载面与气浮导轨之间的气模间隙，气体在气模间隙内流动，让承载面在气浮导轨上浮起来。气体起到了润滑剂的作用，实现无摩擦运动。